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微电子所垂直纳米环栅器件研究获进展

与目前主流的FinFET器件相比,纳米环栅器件(GAA)在可微缩性、高性能和低功耗方面更具优势,被认为是下一代集成电路关键核心技术。其中,垂直纳米环栅器件(VGAA)由于在垂直 ...... 查看全文